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檢測能力





精準的檢測是超精密光學加工的基礎(chǔ),沒有準確的測試數(shù)據(jù)便無法實現(xiàn)超精密光學加工。UPEC經(jīng)過多年的實踐積累,擁有多種光學檢測方法及技術(shù)手段,憑借豐富的專業(yè)技術(shù)實力,獲上海市科委授牌“上海市專業(yè)技術(shù)服務(wù)平臺光學自由面檢測”。

我們可提供高精度光學球面/非球面測量?、白光干涉儀表面粗糙度測量?、 超精密非球面輪廓檢測、特殊面型及光學系統(tǒng)檢測、高精度形位尺寸測量。
主要技術(shù)參數(shù)
測試項目 測試儀器 測試精度
高精度光學球面、非球面面型測量 干涉儀、ASI PV λ/50
超精密非球面輪廓檢測 輪廓儀 PV λ/10
高精度三坐標測量 三坐標 0.3+L/100 μm
白光干涉儀表面粗糙度測量 白光干涉儀 Ra 0.1nm
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